| AFM扫描参数对样品粗糙度测量的影响 |
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| 引用本文： | 王子仪,张荣君,郑玉祥,张振生,李海涛.AFM扫描参数对样品粗糙度测量的影响[J].实验室研究与探索,2013,32(2):5-7. |
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| 作者姓名： | 王子仪 张荣君 郑玉祥 张振生 李海涛 |
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| 作者单位： | 1. 上海超精密光学制造工程技术研究中心,复旦大学信息学院光科学与工程系,上海200433
2. 睿励科学仪器(上海)有限公司,上海,201203 |
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| 基金项目： | 国家科技重大专项课题，国家自然科学基金项目，复旦大学精品课程建设资助项目 |
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| 摘 要： | 原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)是纳米科技研究领域的一种重要工具。作为一种近场成像仪器,参数的选择对样品成像的效果有着很大的影响,不当的参数甚至可能造成样品的损坏。通过采用控制变量法,并以均方根粗糙度作为评判标准,改变AFM各项扫描参数,研究了AFM中不同参数的调整对于样品扫描图像的影响。结果表明,振幅阈值、扫描速率、积分增益三项参数对于测量样品表面粗糙度均有较大影响,通过适当改变扫描参数,可以有效提升AFM的样品扫描质量。
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| 关 键 词： | 原子力显微镜 扫描参数 表面粗糙度 |
Influence of AFM Scanning Parameters on Surface Roughness Measurement |
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| WANG Zi-yi
,
ZHANG Rong-jun
,
ZHENG Yu-xiang
,
ZHANG Zhen-sheng
,
LI Hai-tao.Influence of AFM Scanning Parameters on Surface Roughness Measurement[J].Laboratory Research and Exploration,2013,32(2):5-7. |
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| Authors: | WANG Zi-yi ZHANG Rong-jun ZHENG Yu-xiang ZHANG Zhen-sheng LI Hai-tao |
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