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| 十字片簧弹性支承测量机构的设计与实验 | |
| 引用本文： | 于水,白立芬,李庆祥,王云庆.十字片簧弹性支承测量机构的设计与实验[J].实验技术与管理,2000,17(1):19-21. |
| 作者姓名： | 于水 白立芬 李庆祥 王云庆 |
| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
| 摘 要： | 台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件，它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验，实验证明，此测量机构有运动灵活、回转精度高、测量力小、调整方便、抗疲劳性好，使用中无磨损、不需润滑、工作稳定可靠等特点，该机构台阶测量仪的要求。 |
| 关 键 词： | 十字片簧 弹性支承 测量机构 台阶测量仪 |
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