| 基于数字光刻技术的光纤端面微光学器件制作 |
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| 引用本文： | 余秋香,易云.基于数字光刻技术的光纤端面微光学器件制作[J].科技广场,2011(3). |
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| 作者姓名： | 余秋香 易云 |
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| 作者单位： | 1. 江西应用技术职业学院,江西,赣州,341000
2. 赣南师范学院,江西,赣州,341000 |
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| 摘 要： | 本文提出采用DMD数字光刻技术制作光纤端面微光学器件,基于DMD数字光刻系统,建立了用于制作光纤端面微光学器件的双光源DMD数字光刻系统。利用双光源DMD数字光刻系统,在芯径为62.5μm,外径为125μm的多模光纤端面上制作了具有耦合作用的环形光栅。本技术中光纤端面微光学器件的掩模由计算机控制输出,具有设计灵活、实时控制的优点。
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| 关 键 词： | 光纤端面 微光学器件 双光源DMD数字光刻系统 数字光刻技术 |
Fabrication of Micro Optics Elements in the End Face of the Optical Fibers Biased on the Digital Lithography Technique |
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| Yu Qiuxiang,Yi Yun.Fabrication of Micro Optics Elements in the End Face of the Optical Fibers Biased on the Digital Lithography Technique[J].Science Mosaic,2011(3). |
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| Authors: | Yu Qiuxiang Yi Yun |
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| Institution: | Yu Qiuxiang Yi Yun(1.Jiangxi Vocational College of Applied Technology,Jiangxi Ganzhou 341000,2.Gannan Normal University,Jiangxi Ganzhou 341000) |
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