| ZnO外延薄膜的制备及孪晶的形成 |
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| 引用本文： | 许贺菊,高永春,侯淑莲,张久云,张丽,于威.ZnO外延薄膜的制备及孪晶的形成[J].唐山师范学院学报,2009,31(2). |
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| 作者姓名： | 许贺菊 高永春 侯淑莲 张久云 张丽 于威 |
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| 作者单位： | 1. 华北煤炭医学院,河北,唐山,063000
2. 河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002 |
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| 摘 要： | 采用螺旋波等离子体辅助溅射沉积法在衬底Al2O3的(0001)面上沉积ZnO薄膜,所生长的薄膜在未退火和退火时表现出不同的平面内取向.未退火时薄膜表现出较好的单筹异质外延生长,而退火后薄膜的Φ扫描图像中出现了12个峰,这表明退火后薄膜出现反相筹,表现为孪晶生长.重点分析了退火对螺旋波等离子体辅助溅射技术外延ZnO薄膜的结构及表面形貌的影响规律,为外延ZnO薄膜质量的提高及该技术应用的探索奠定基础.
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| 关 键 词： | 外延ZnO薄膜 退火 孪晶 等离子体 |
Epitaxial Growth of ZnO Films and the Form of the Twin Domains |
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| XU He-ju,GAO Yong-chun,HOU Shu-lian,ZHANG Jiu-yun,ZHANG Li,YU Wei.Epitaxial Growth of ZnO Films and the Form of the Twin Domains[J].Journal of Tangshan Teachers College,2009,31(2). |
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| Authors: | XU He-ju GAO Yong-chun HOU Shu-lian ZHANG Jiu-yun ZHANG Li YU Wei |
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