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| 锶钡比及膜厚对钛酸锶钡薄膜介电行为的影响 | |
| 引用本文： | 赵丽丽,张智翔,高永进,翟春雪,何崇斌.锶钡比及膜厚对钛酸锶钡薄膜介电行为的影响[J].中国科技信息,2012(6):54. |
| 作者姓名： | 赵丽丽 张智翔 高永进 翟春雪 何崇斌 |
| 作者单位： | 西北大学信息科学与技术学院,陕西西安,710127 |
| 基金项目： | 陕西省教育厅自然科学项目(08JK462);陕西省科技厅自然科学项目(SJ08-ZT04) |
| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法制备不同锶钡比、不同膜厚的钛酸锶钡薄膜,研究了薄膜的介电行为。性能测试表明,在不同的锶钡比的钛酸锶钡薄膜中,介电性能最好的锶钡比为0.5:0.5,此时介电系数最大介电损耗最小;膜厚与薄膜的介电系数呈线性关系,随膜厚增加薄膜的介电系数线性增加。 |
| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 钛酸锶钡薄膜 介电性能 锶钡比 |
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