|
|||||
|
|
| 用光的干涉原理测定脉冲激光溅射产物的角分布 | |
| 引用本文： | 皇甫国庆.用光的干涉原理测定脉冲激光溅射产物的角分布[J].渭南师范学院学报,2002,17(5):3-5. |
| 作者姓名： | 皇甫国庆 |
| 作者单位： | 渭南师范学院,物理系,陕西,渭南,714000 |
| 摘 要： | 本实验将基础光学知识应用于激光溅射沉积（简称PLD）中对溅射产物的空间分布进行测量的研究，将此做为现代物理实验可以培养学生运用基础物理实验方法进行科学研究的素养。 |
| 关 键 词： | 干涉原理 溅射产物 脉冲激光溅射 角分布 等厚干涉 激光溅射沉积薄膜 光学 |
| 文章编号： | 1009-5128(2002)05-0003-03 |
| 修稿时间： | 2002年3月13日 |
Utilizing Interference of Light Principle to Measure the Angle Distribution of Laser Sputter Product |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | pulse laser sputter angle distribution interference of equal thickness |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |