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多晶硅是太阳能电池材料之一,具有比较高的光电转换效率,但多晶硅产业的发展也导致环境污染的产生。本文主要从多晶硅太阳电池生产环节前期工序(硅提纯)和中期工序(清洁制绒、扩散制结、刻蚀清洁、化学气相沉积PECVD、丝网印刷、电极烧结)中所产生的污染进行论述。 相似文献
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介绍了化学气相沉积(CVD)技术的应用,还有化学气相沉积(CVD)技术的最新发展,包括等离子增强化学气相沉积、激光化学气相沉积、金属有机化合物化学气相沉积;同时介绍了化学气相沉积(CVD)和化学液相沉积(CLD)技术在改性沸石催化性能方面的应用和研究。 相似文献
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针对多晶硅生产中,受反应介质特性和反应条件的影响,传统旋风分离器的安装方式在使用时存的缺点,对内置式旋风分离器在多晶硅生产系统反应器装置中的应用进行了分析和探讨。 相似文献
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简述了非晶硅薄膜太阳能电池的基本原理和生产工艺,特别介绍了等离子化学气相沉积(PECVD)反应沉积室四种结构和特点,以及非晶硅薄膜电池生产设备的特点,以及未来发展方向. 相似文献
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VD—MOS(Vertical Channel Double Diffused MOSFET)是利用大规模集成技术,通过在硅基片上外延、多晶硅生长、离子注入、杂质扩散、化学气相淀积以及金属化等工艺过程制成。 相似文献
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Tio2薄膜材料由于具有其颜料特性极高的催化活性和光稳定性而应用广泛。本文通过查阅大量文献资料,主要对Tio2薄膜的常用方法中的化学气相沉积法进行了论述。 相似文献
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Tio2薄膜材料由于具有其颜料特性极高的催化活性和光稳定性而应用广泛。本文通过查阅大量文献资料,主要对Tio2薄膜的常用方法中的化学气相沉积法进行了论述。 相似文献
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《青海科技》2017,(4)
还原炉结构、运行工艺参数密切影响着还原炉电耗和多晶硅质量,优化还原炉结构和气相沉积过程的运行工艺参数是降低多晶硅还原炉电耗的主要研究方向。研究表明,加大还原炉体积、提高单炉产量、更有效地利用炉内热辐射,能够大幅降低还原能耗。本文论述一种高效、节能的48对棒大型还原炉的设计开发,采用全数字化研发手段设计了与之配套的钟罩、底盘、喷嘴结构、进出气口排布等核心部件,通过计算机模拟验证所设计还原炉炉内流场、温场的合理性,结合现场试验针对大型还原炉制定参数运行曲线,其还原电耗稳定降至40kWh/kg-si左右,单炉产量达到12t,TCS单耗降低至41.92kg/kg-si以下,实现了48对棒多晶硅还原炉的产业化应用。 相似文献
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本文以"柠檬酸法"制备的Mo1Fe10催化剂,以无水乙醇为碳源的化学气相沉积法(ACCVD)制备单壁碳纳米管(swcnts),实验采用温度和气流分布更为均匀,更易放大的流化床反应器。本实验考查了在相同的催化剂Mo1Fe10下,载气Ar气的流量为150ml/min,无水乙醇为碳源,不同温度下对制备单壁碳纳米管的影响。实验表明:在950℃时制备的单壁碳纳米管具有管径均匀,不定型碳含量少等特点。 相似文献
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多晶硅生产方法目前应用最广的为改良西门子法.三氯氢硅作为多晶硅还原的重要原料之一,其汽化方式以及与氢气摩尔比值直接关系产品的质量和产量.本文就目前多晶硅还愿中三氯氢硅的三种汽化方式进行介绍,并对其优缺点进行比较,为多晶硅生产工厂和多晶硅工艺设计提供参考. 相似文献
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面对许多极端工况的油气装备管道腐蚀磨损防护的重大需求,本文围绕当前深地油井管涂层存在的耐温力学强度低和耐磨性能差的关键问题,以及原油生产过程中的蜡沉积造成的严重结蜡问题,以涂层表界面强化和组成—微观结构设计为突破点,通过将商业聚偏氟乙烯树脂(PVDF)和高度氟化的坡缕石@二氧化硅(Pal@SiO2-F)复合填料有机结合,制备了具有高耐磨性能的双疏功能填料,并开发了面向苛刻环境下石油化工装备用防腐耐磨双疏纳米粉末涂料。在涂层表面构建了独特的微/纳米分层结构,并与Pal@SiO2-F的低表面能及PVDF的化学惰性相协同,在涂层表面形成了稳定的气膜结构。所制备的涂层不仅具有优异的防腐耐磨性能,还对原油具有超强的抗粘附性能,将其应用于管道时可大幅提升原油运输效率。进而开发出防腐耐磨双疏涂层,该涂层在极端环境油气领域具有广阔的应用潜力。 相似文献
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近年来,碳纳米技术的研究越来越活跃。因其优异的电学、力学、热学和光学性能,受到了人们的广泛关注,并逐渐成为材料研究领域的研究热点之一。在众多的碳纳米材料中,石墨烯是主要的研究目标。本文中我们通过化学气相沉积的方法来制备石墨烯,通过扫描电子显微镜和拉曼光谱分析仪等设备分析其形貌、结晶性。结果表明化学气相沉积方法制备碳纳米材料过程中温度是一个重要因素。 相似文献
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用等离子增强化学气相沉积(PECVD)法,通过改变[SiH4]/[NH3:H2]的流量比沉积氮化硅薄膜。用椭偏仪测量氮化硅薄膜的厚度、折射率。研究了N型单晶硅太阳电池沉积氮化硅薄膜的电性能。 相似文献