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直线电机直接驱动系统具有结构简单、动态响应快、控制精度高等一系列优点,是理想的直线进给传动方式.叙述了直线电机驱动系统的研究现状、特点及驱动控制技术,直线电机驱动系统在精密运动控制领域的应用,尤其是在数控装备、半导体工业和纳米制造业以及城市轨道交通等方面的应用,并对其发展趋势方向进行了展望.  相似文献   
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