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风机过滤器机组中的高效和超高效过滤器的面风速有很大的不均匀度和紊流强度 ,对单向流洁净区和洁净室中的气流单向性有很大影响 .这种情况下 ,很难控制单向流区域内的交叉污染 .找出优化的方法来保持风机过滤器机组的面风速均匀性及减少面风速的湍流度 ,对于保持风机过滤器机组下方区域的洁净度有重要意义 .采用常用且简便的方法 ,在过滤器下加装均流装置 ,对不同的均流装置进行了测试 .给出风机过滤器机组下的面风速均匀性及湍流度的数据 ,同时研究了面风速均匀性及湍流度对单向流污染边界的影响 相似文献
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