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通过对气敏传感器的可靠性试验 ,找到了一些引起元件失效的主要原因 ,从元件结构的设计、材料、工艺的改进方面提出了提高元器件可靠性的改进措施 相似文献
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采用表面修饰技术,利用气敏元件表面覆膜方法,得到高选择性ＳｎＯ２半导体ＮＨ３敏感元件,并对元件的特性和机理进行了分析。 相似文献
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n p型半导体气体传感器是基于气体传感器互补增强和互补反馈原理的一种新结构半导体气体传感器。该种传感器是由两种传导类型不同的敏感体A和B构成,A是n型半导体材料,B是p型半导体材料。理论分析表明,敏感体A和B的选择必须满足一定的原则,才能实现该种传感器的高性能。 相似文献
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