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1.
《赣南师范学院学报》2019,(6):58-61
硅基深槽刻蚀是槽栅IGBT器件的基本结构,也是确保器件性能的关键工艺,氮化硅硬掩蔽膜质量对于硅基深槽刻蚀起着重要的作用.本文采用低压化学气相淀积(LPCVD)工艺淀积氮化硅薄膜,具有均匀性好,而且呈现较大的张应力,可以补偿二氧化硅缓冲层的压应力,有效地解决了硅-二氧化硅-氮化硅夹心结构的应力问题.分析比较了工艺参数,如气体流量、淀积环境的压强、温度等,对氮化硅薄膜生长速率及膜厚的影响,获得了氮化硅薄膜淀积的优化工艺参数. 相似文献
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采用有限元方法模拟了热载荷下梯度结构硬质合金的弹塑性响应．样品几何模型为二维梯度结构的轴对称圆柱体．通过引入约束因子构建了梯度材料的弹塑性本构方程．数值模拟表明：当材料温度从初始无应力的800℃下降到0℃时,在样品表面出现了压应力而在富钴区出现了拉应力;表面压应力的最大值为254MPa,富钴区拉应力的最大值为252MPa;在钴相浓度差等于或大于0．3时,钴相梯度区出现了明显的塑性流动;当温度从0℃上升到800℃时,总的塑性应变达到0．0014．塑性流动有利于降低材料内部的热应力集中． 相似文献
3.
研究了不同颜色太阳电池的制备工艺和电学性能。实验表明,随着镀膜压强的增加,减反射层的折射率缓慢增加,当压强超过1800 mTorr时,折射率的增幅变大;随着镀膜时间的增加,太阳电池的开路电压Uoc先增大后减小,当淀积时间为550 s时,Uoc达到最大值;短路电流Isc随淀积时间的变化趋势与Uoc相同,当淀积时间为650 s时,Isc达到最大。因此,对于具有装饰功能的太阳能电池组件采用并联的方式进行设计可达到最佳组件效率。 相似文献
4.
报道了紫外光源在制备金属薄膜材料方面的应用研究,金属钯是一种优良的催化剂,首先在各种衬底上面淀积靶的金属有机化合物薄膜,通过紫外分解钯的金属有机化合物,形成数埃到几十埃的色膜,然后再利用钯的催化效应,在无电极电镀中淀积出几十纳米到几微米厚的各种金属薄膜（如Cu、Au、Ni等）。 相似文献
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采用应力解除法在祁东矿-408、-500和-600三个水平进行了原岩应力测试及计算，确定了祁东井田主应力的大小和方向以及三个主应力随深度的变化关系：祁东煤矿的地应力场以水平构造应力为主，最大主应力方向为北东向到近于东西向；中间主应力为垂直应力，垂直应力接近于上覆岩层的重量；最大主应力梯度值为0．029MPa／m，垂直应力梯度值为0．026MPa／m，最小主应力梯度值为0．023MPa，／m；地应力测量结果为研究祁东矿区域内各点的应力状态及应力场分布提供了理论依据。 相似文献
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王中达 《郧阳师范高等专科学校学报》2003,23(1):29-32
汉水(汉江)是中华民族的一条重要的“母亲河”，其历史化淀积厚重。这里仅以“传统”、“冢山”、“禹碑”作为话题，对汉水源头化进行追溯。 相似文献
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研究弹性材料夹杂含裂纹功能梯度材料的接触问题．利用Fourier积分变换,将问题转化为关于未知位错密度函数的奇异积分方程,再用配点法对奇异积分方程进行数值求解．获得了裂纹尖端标准应力强度因子．数值结果显示了标准应力强度因子与梯度材料非均匀参数、摩擦系数、裂纹长度以及裂纹距刚性压头中心水平距离的关系． 相似文献
9.
王祥 《韩山师范学院学报》2011,32(3):37-41
利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术,淀积a—SiNx／nc—Si／a—SiNx不对称双势垒存储结构．通过电容和电导测试研究结构的界面态特性．实验结果表明,采用PECVD方法制备的不对称存储结构的界面特性良好,其界面态密度为3×10^10cm^-2eV^-1． 相似文献
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生态旅游是可持续发展的旅游,"生态旅游"无论是从旅游理念还是旅游形式,都越来越受到世界各国的普遍关注,在旅游发展中起到越来越重要的作用.而广西贺州市在发展生态旅游方面条件优越,有深厚的历史文化淀积,自然资源丰富奇特,客源市场开发潜力大,在规划区域旅游中应大力发展生态旅游. 相似文献
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MEMS Test System Based on Virtual Instrument Technology 总被引：1，自引：0，他引：1
On account of the multiformity of MEMS devices, it is necessary to integrate with some optical measurement techniques for meeting static and dynamic unit test requirements. In this paper, an automated MEMS test system is built of some commercially available components and instruments based on virtual instrument technology. The system is integrated with stroboscopic imaging, computer micro-vision, microscopic Mirau phase shifting interferometry, and laser Doppler vibrometer, and is used for the measurement of full-view in-plane and out-of-plane geometric parameters and periodical motions and single spot out-of-plane transient motion. The system configuration and measurement methods are analyzed, and some applications of the measurement of in-plane and out-of-plane dimensions and motions were described. The measurement accuracy of in-plane dimensions and out-of-plane dimensional is better than 0.2 μm and 5 nm respectively. The resolution of measuring in-plane and out-of-plane motions is better than 15 nm and 2 nm respectively. 相似文献
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在MEMS传感器的基础上设计并制作了具有大量程、高精度的倾角仪。测量单元采用3个正交的MEMS加速度传感器,在保证测量精度的同时加大了倾角的测量范围。硬件设计分别采用线性电源、高频控制芯片及高分辨率模数转换芯片实现倾角仪的小型化。对倾角仪测量时的测量误差通过建模提出了多位置标定补偿技术、分段式温度补偿技术及现场快速标定技术,实时保证倾角仪具备较高的测量精度。通过三轴温控转台对提出的3种标定方法进行了实验验证,不但证明了3种标定技术的有效性及实用性,且对倾角仪的标定精度均可达0.01°。 相似文献
13.
于金伟 《实验室研究与探索》2012,31(1):24-28
对测量误差的大小及能否接受的判断需要进行测量系统分析,从而可以减少因仪器设备引起的误差,并得到测试数据中所隐含的信息。介绍了进行测量系统偏倚及线性分析的概念及方法,在消音室用B&K测试仪对MEMS微传声器频响、灵敏度测得了参考值并使用在线测量系统对标准样品测得了相关数据,运用Minitab软件对测量系统在0.10、1.00、3.15和8.00 kHz等不同频点的偏倚及线性进行了分析,提出了复合测量系统的概念,并对此进行了有效的分析。根据研究结果,找到了运用整体偏倚值对测量系统进行修正的方法,并用Minitab对改善后的测量系统进行了预测,应用于生产实际后,大大提高了MEMS微传声器测量系统测试数据的可靠性。 相似文献
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Optical flow method is one of the most important methods of analyzing motion images.Optical flow field is used to analyze characteristics of motion objects.According to motion features of micro-electronic mechanical system(MEMS)micro-structure,the optical algorithm based on label field and neighborhood optimization is presented to analyze the in-plane micro-motion of micro-structure.Firstly,high speed motion states for each frequency segment of micro-structure in cyclic motion are frozen based on stroboscopic principle.Thus a series of image sequences,and can obtain reliable and precise optical field and reduce computing time.As micro-resonator of urement precision of the presented algorithm is high,and measurement repeatability reaches 40 am under the same experiment condition. 相似文献
15.
五孔球探针旋转流场测量的应用方法与误差探讨 总被引：2，自引：0，他引：2
介绍五孔球探针的基本结构和使用方法。通过深入探讨气体绕流球体的的原理,分析了在调节探针方位确定气流方向时出现多个平衡点的原因,并进行实验验证,提出在复杂流场中确定正确的气流方向角的三个基本判据。从压力测量、探针位置精度、速度梯度和静压梯度等方面分析了流场测量误差的来源,并指出了实现误差控制的相应措施。 相似文献
16.
范莉 《黑龙江教育学院学报》2009,28(12):93-96
压力与负性情绪的关系比较密切,而大学生校园压力的类型多样,测量方法不一,负性情绪的诱发方式特殊,因此,校园压力与负性情绪之间的关系需要作进一步的探讨。 相似文献
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A profilometer used for 3 dimension measurement of micro-surface topography is presented. The instrument is based on the vertical scanning microscopic interferometry （VSMI）. A Linnik type interference microscope is used and the interferograms which present changes of surface profile are recorded with a CCD camera. A developed nano-positioning work stage with an integrated optical grating displacement measuring system realizes the precise vertical scanning motion during profile measurement. By a white-light phase shifting algorithm of arbitrary step, frames of interferograms are processed by a computer to rebuild and evaluate the measured profile. Because of the specialty of VSMI, the profilometer is suitable for both smooth and rough surface measurement. It can also be used to measure curved surfaces, dimension of micro electro mechanical systems （MEMS）, etc. The vertical resolution of the profilometer is 0.5 nm, and lateral resolution 0.5 μm. 相似文献
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Mask synthesis and verification based on geometric model for surface micro-machined MEMS 总被引：2，自引：0，他引：2
Traditional MEMS (microelectromechanical system) design methodology is not a structured method and has become an obstacle for MEMS creative design. In this paper, a novel method of mask synthesis and verification for surface micro-machined MEMS is proposed, which is based on the geometric model of a MEMS device. The emphasis is focused on synthesizing the masks at the basis of the layer model generated from the geometric model of the MEMS device. The method is comprised of several steps: the correction of the layer model, the generation of initial masks and final masks including multi-layer etch masks, and mask simulation. Finally some test results are given. 相似文献
19.
INTRODUCTION When designers develop microelectromechani- cal system (MEMS) devices with the traditional ap- proach, they should devise the mask-layouts and fabrication process instead of the function and shape of the MEMS device. The geometric model of the MEMS device is then derived based on the simulated fabrication according to the devised mask layout and the process. This is analogous to generating a geo- metric model from the NC tool paths in the macro world. Obviously it is uni… 相似文献
20.
通过选取黄铜(Hb2)、优质结构钢(45#)、普通低合金钢(16Mng)、合金钢(Icr13)、铝合金(Lr12)五种金属材料，用不同的截面形状和加载速率对其流动极限进行试验研究。理论分析和实验结果表明：在不同的材质、加载速率和截面形状条件下，应力分布不均匀对流动极限的影响很小，并能够忽略，因此可以认为，金属材料的流动极限是一个固有的物理常数，应力分布不均匀对其几乎没有什么影响。 相似文献